◎ 高效量产：粗精抛一体，支持不同晶圆尺寸的工艺配置快速切换

◎ 灵活适配：模块化设计，干/湿进出可选

◎ 智能控制：终点检测，自主软件

◎ 自主可靠：国产核心部件，兼容多种衬底